| 2 基于QFD/TRIZ/FUZZY集成技术的微摩擦测试仪力传感器设计研究 微摩擦测试仪是研究微观摩擦规律的重要的测试仪器，力传感器为微摩擦测试仪的关键部件，其载荷和测量范围都处于微米纳米量级，如摩擦力显示镜FFM，其针尖半径约为50nm,探针扫描面积为1μmX1μm,载荷为10-150nN,而且通常的微机械构件大小一般为微米级甚至更小,目前的传感器在测量精度要求较高时,分辨率、灵敏度等都较低，常常不能满足系统的需要。 （1）对现有力传感器分析结果所画的质量屋，如图3所示。从图3可以得到最主要的技术矛盾为： 矛盾：材料强度-材料变形 
（2）利用技术冲突解决矛盾"解决方案如表4所示。
（3）利用FUZZY优化技术对解集中的方案进行评价 聘请4位专家对原理解集中的原理解进行评价，评价指标为三项（见表5）：A1：稳固性；A2：灵敏度；A3：分辨率。具体评价数据见表6,表7。最终评价结果为： 横梁：S5>S6>S4>S1>S3>S2,所以选择b=40μm,L=35mm 悬臂梁:M1>M3>M4>M2>M6>M5,所以选择b=100μm,L=133mm 
3 结论 基于产品设计的QFD需求,分析微摩擦测试仪力传感器的质量屋,选取材料强度和材料变形作为设计的主要技术矛盾,得到产品创新设计问题的原理解集,采用FUZZY方法对解集中的各原理解进行评价,从中得到最优尺寸设计方案。对所设计尺寸的力传感器进行实验，在信号处理电路放大约3万倍时，该力传感器的分辨率约为46μN，符合设计需求，说明应用QFD/TRIZ/FUZZY集成方法设计出的微摩擦测试仪力传感器适用性较强。
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